Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қарқынды дамуымен саланың ауқымы тез өсті, ал жартылай өткізгіштер өндірісі жабдықтары дәлдік пен күрделілікке қарай дами берді. Керамиканың жоғары қаттылық, жоғары серпімділік модулі, жоғары тозуға төзімділік, жоғары оқшаулау, коррозияға төзімділік, төмен кеңею және т.б. артықшылықтары болғандықтан, оны кремний жылтырату машинасының, эпитаксиалды/тотығу/диффузиялық термиялық өңдеу жабдықтарының, литография машинасының, тұндыру жабдықтарының, жартылай өткізгіш ою жабдықтарының, иондық имплантация машинасының және басқа жабдықтардың бөлшектері ретінде пайдалануға болады, сондықтан дәл керамикалық бөлшектерді зерттеу, әзірлеу және өндіру жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің дамуына тікелей әсер етеді. Оны дайындаудың техникалық талаптары барған сайын жоғарылап келеді.
Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді, 99,7%-99,9% алюминий оксиді.
Жоғары механикалық беріктік, жоғары тозуға төзімділік, жоғары электр оқшаулауы, жоғары химиялық тұрақтылық, жақсы ыстыққа төзімділік және коррозияға төзімділік. Қазіргі уақытта керамикалық тегістеу дискісі бар жартылай өткізгіш кремний пластинасын пайдалану ең озық және заманауи тегістеу әдісі болып табылады. Кесілген кремний пластинасын тегістеу үшін екі жақты тегістеу процесі қолданылады және тегістеу процесін жақсарту арқылы тегістеу пластинасының сапасы жақсарады (диск материалы, тегістеу сұйықтығы, тегістеу қысымы және тегістеу жылдамдығы және т.б.). Атап айтқанда, шойын пластиналарының орнына керамикалық пластиналарды пайдалану пластинаның негізгі бетінде тыртықтар немесе ластанудан туындаған тегістеуді болдырмау үшін металл иондарының енуін азайтады, кремнийді кейінгі өңдеуді азайтады, кейінгі процестің (коррозия) уақытын қысқартады, өндіріс тиімділігін арттырады және кремнийді өңдеудің жоғалуын азайтады, кремнийді пайдалануды айтарлықтай жақсартады.
Жоғары алюминий оксиді бар пластинаны жылтырату пластинасыжартылай өткізгіш, мұнай, химия, фотоэлектрлік, сұйық кристалды және механикалық бөлшектер, электронды бөлшектер, микротолқынды индукциялық диск, оқшаулағыш материалдар және басқа да бөлшектер, жартылай өткізгіш құрылғылар, вакуумдық жабдықтар, сұйық кристалды өндіріс жабдықтары және басқа да бөлшектер сияқты басқа да салаларда қолданылады. Ірі өлшемді және жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикасы сапфир өнеркәсібінде және жартылай өткізгіш чиптер өнеркәсібінде маңызды қолдану құндылығына ие. Ол сапфир және жартылай өткізгіш кремний пластиналарын химиялық механикалық жылтырату (ХМЖ) үшін негізгі тірек және тұтынылатын зат болып табылады. Ірі өлшемді және жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикасын LCD үшін алюминий оксиді субстрат ретінде де пайдалануға болады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 27 маусым