Чемшуналюминий оксиді пластинасын жылтырату пластинасы/айналмалы үстел жоғары тазалығы 99,7-99,9% алюминий оксидінен жасалған. Жоғары тазалығы жоғары алюминий оксиді керамикасы пластинаны жылтырату үшін ерекше қаттылық пен тамаша тозуға төзімділікпен ерекшеленеді және ұзақ уақыт бойы жақсы бет пішінін сақтайды. Ол PIBM арқылы пішінделеді. Ол теңдесі жоқ термиялық және өлшемдік тұрақтылығы мен қатал микрочипті өңдеу жабдықтары орталарына төзімділігінің арқасында жартылай өткізгіштер индустриясының мүшесі болып табылады.
Химиялық-механикалық жазықтықтау (ХМЖ), сондай-ақ химиялық-механикалық жылтырату деп те аталады, бұл жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру процесіндегі технология. Ол өңдеу кезінде кремний пластиналарын немесе басқа субстрат материалдарын тегістеу үшін химиялық коррозия мен механикалық күштерді пайдаланады.
CMP жабдығы негізінен екі бөлікке бөлінеді: жылтырату бөлігі және тазалау бөлігі. Жылтырату бөлігі 4 бөліктен тұрады, атап айтқанда 3 жылтырату айналмалы тақтасы және пластинаны тиеу және түсіру модулі. Тазалау бөлігі пластинаны тазалау және кептіру үшін жауап береді, бұл пластинаның «кебуіне» қол жеткізуге мүмкіндік береді. Жылтырату жабдығының барлығында алюминий оксиді керамикасы маңызды рөл атқарады.
Алюминий тотығы керамикасы әдетте пластина жылтырату дискілерін дайындау үшін қолданылады, бұл жоғары тазалықты, жоғары химиялық беріктікке ие және бетінің пішіні мен кедір-бұдырлығын жақсы бақылауды қажет етеді.
Chemshun 99,7% Al2O3 керамикалық тегістеу дискісі әртүрлі материалдарды, әсіресе пластиналар, керамика және шыны сияқты сынғыш материалдарды ұсақтауға жарамды озық керамикалық материалдардан жасалған. Біздің керамикалық тегістеу дискісін әртүрлі тегістеу және жылтырату модельдеріне сәйкес әртүрлі өлшемдерде жасауға болады.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 30 мамыр